相關說明:
流量規格(N2): (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM;
(0~1、2、3、5、10、20、30 )SLM
準確度: ±1%F.S.
線性: ±0.5%F.S.
重復精度: ±0.2%F.S.
響應時間: ≤1Sec
工作壓差范圍: (0.05~0.3)MPa
較大耐壓: 10Mpa
工作環境溫度: 5~65℃
電氣連接: 8 針(小型圓插頭)
輸入/輸出信號 Digital:RS232/RS485 ; Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
電源: 6~16VDC ;1A
標準接頭: Swagelokφ6;Swagelok 1/4″;VCR1/4″